最先进器件用高精度原版检查装置

NEC公司已开发出适于 0 15 μm规范并可高速检查的原版缺陷检查装置。目前 ,原版检查系统“LM 5 0 0 0”已产品化并开始市售。本产品的标准价格为 6亿日元 ,在今后 3年时间里 ,销售目标预计为 10 0亿日元。近年来 ,在处理器、存储器、系统LSI等方面 ,为了追求高速度、大容量 ,在电子器件的高集成度上下了很大功夫 ,取得了很大的进展。因此 ,为了在半导体硅片上曝光高集成电路图形而使用的原版 ,其超微细化工作正在加快 ,人们对这种能够高速度、高精度地检测原版缺陷的版检查系统的需求越来越强烈。至今为止 ,该公司在修正原版的激光掩…