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基于虚拟仪器的光栅尺误差动态检测
引用本文:吴玉斌,朱勤.基于虚拟仪器的光栅尺误差动态检测[J].光电技术应用,2005,20(4):35-37.
作者姓名:吴玉斌  朱勤
作者单位:深圳大学工程技术学院,深圳,518060;深圳大学工程技术学院,深圳,518060
基金项目:广东省深圳市科技局科研项目
摘    要:给出了一种基于虚拟仪器的光栅尺误差动态检测方法.以激光外差干涉仪为基准,利用虚拟仪器的软硬件技术实现自动控制、数据采集、动态检测、误差分析、列表输出等多项功能的光栅尺高精度检测,与传统检测方法相比,具有精度高、自动化程度高、速度快、测量结果直观清晰等优点,特别适用于光栅尺的在线检测。

关 键 词:虚拟仪器  光栅尺  动态检测  数据分析与处理
文章编号:1673-1255(2005)04-0035-03
修稿时间:2005年4月29日

NI Technology-based Dynamic Testing System for Grating
WU Yu-bin,ZHU Qin.NI Technology-based Dynamic Testing System for Grating[J].Electro-Optic Technology Application,2005,20(4):35-37.
Authors:WU Yu-bin  ZHU Qin
Abstract:A dynamic testing system based on NI technology for grating is presented.The error data of the grating are collected and processed dynamically by NI system.Compared with general method,the system can test a grating automatically in 10 seconds,error graphics,error data files,and other parameters also can be printed immediately.The system is designed for industrial manufacturing of grating.
Keywords:NI  grating  dynamic automatic testing  data analysing and processing
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