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| 铟及磷化铟中微量硅的高频等离子体光谱法测定 | |
| 引用本文： | 黄文裕,阴雨江.铟及磷化铟中微量硅的高频等离子体光谱法测定[J].分析试验室,1984(2). |
| 作者姓名： | 黄文裕 阴雨江 |
| 作者单位： | 南京固体器件研究所 (黄文裕)，南京固体器件研究所(阴雨江) |
| 摘 要： | 高纯铟及磷化铟中微量硅及金属杂质的测定方法很多。用比色法测定硅时,分离方法复杂,空白值较高。质谱法及中子活化法灵敏度很高,能同时测定多种杂质元素,但由于设备条件的限制,目前还不易普及推广。用普通的化学光谱法测定铟及磷化铟中金属杂质时。通常采用萃取法将基体铟分离.杂质富集浓缩后 |
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