超声气体射流辅助飞秒激光刻蚀石英微槽工艺研究

针对飞秒激光加工硬脆材料过程中存在重凝、微裂纹、崩边等物理缺陷，为获得高质量加工面，提出超声气体射流辅助飞秒激光加工方法。以刻蚀石英微槽为研究对象，探讨了超声气体射流辅助飞秒激光加工机理，探究了超声频率、超声功率及气体入口压力对飞秒激光刻蚀石英微槽深度及深宽比的影响规律，对比分析了有无超声气体射流辅助下飞秒激光刻蚀石英微槽形貌。实验结果表明，在飞秒激光重复频率20 kHz、单脉冲能量50μJ、离焦量0μm、扫描速度4 mm/s、单次扫描加工条件下，石英微槽深宽比从无超声气体射流辅助下的0.81提升至超声气体射流辅助下的1.23，槽深由27.16μm增加到48.82μm，此时超声气体射流参数为气体入口压力0.6 MPa、超声频率28 kHz、超声功率300 W。在超声气体射流辅助下石英微槽表面附着颗粒物减小，表面形貌显著提高。