中红外能量调节滤波器的研制

为解决信息采集中环境因素的干扰，提高目标判断精度，通过滤光技术，利用不同波段能量比的差异，对同时采集到的波段信息进行能量对比。根据系统要求，在Si基底设计并制备了中红外3.5～5μm波段能量调节滤光膜，选择Ge和SiO作为镀膜材料。依据光学薄膜基础理论，通过建立新的评价函数，结合Macloed膜系设计软件，实现0～30°入射3.5～5μm波段能量调节滤波器的设计与制备。研究能量调节滤光膜的微观组成，分析其在温湿试验前后的光学性能变化的原因，综合利用Ge和SiO吸潮前后光学参数，优化能量调节滤光膜膜系设计，解决其在潮湿环境中长期使用光学性能下降的问题。测试结果表明，制备的能量调节滤波器0°入射时，吸潮前能量调节比为1∶40.9，吸潮后能量调节比为1∶40.7;30°入射时，吸潮前能量调节比为1∶40.04，吸潮后能量调节比为1∶39.04，满足系统要求。