抛光工艺对晶片表面粗糙度的影响

介绍了碲锌镉晶片抛光机的工艺过程和原理，研究了抛光工艺中抛光液粒度、抛光压力、抛光液流量和工作台转速对晶片表面粗糙度及平整度的影响，并提出了提高晶片抛光加工表面质量的方法和实际加工效果。