缓存区工位和调度系统在CMP设备中的应用

介绍了一种半导体专用设备用的缓存装置及其调度方法，此调度方法适用于晶圆的多种工艺加工过程，针对设备在晶圆传输过程中遇到模块故障或者模块超时问题，合理的启用缓存区工位将有受损风险的晶圆收纳到缓存区，并在故障消除后将晶圆恢复至正常工艺流程的方法。该系统方法最大限度地保护晶圆的安全，同时也为快速恢复正常加工提供了保障。