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杂志ISSN号
基于数字孪生技术的晶圆级测试平台
作者姓名:
李斌
胡晓霞
吕磊
王进瑞
作者单位:
1. 中国电子科技集团公司第四十五研究所;2. 三河建华高科有限责任公司
摘 要:
从数字孪生技术以及晶圆级测试现状出发,根据数字孪生技术需求,详细介绍了数字化晶圆级测试系统构建内容,进行了系统搭建,并对数字孪生技术在本领域后续发展方向进行了展望。
关 键 词:
数字孪生
半导体
晶圆级测试
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