喷雾涂胶机旋转主轴动态特性研究

旋转主轴作为喷雾涂胶机的关键部件，其性能的优劣直接影响着光刻胶的喷涂质量。根据工艺要求提出了喷雾涂胶机旋转主轴的主要技术指标，建立了旋转主轴的三维模型，利用有限元软件ANSYS对旋转主轴进行了动态特性分析，验证了结构设计的合理性，为旋转主轴的开发设计提供了理论基础。