| 低温磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al透明导电膜的结构及特性 |
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| 引用本文： | 郝晓涛,马瑾,马洪磊,田茂华,曹宝成,叶丽娜,程传福,滕树云.低温磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al透明导电膜的结构及特性[J].中国科学A辑,2001,31(9):835-840. |
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| 作者姓名： | 郝晓涛 马瑾 马洪磊 田茂华 曹宝成 叶丽娜 程传福 滕树云 |
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| 作者单位： | (1)山东大学光电材料与器件研究所， 济南 250100 ,中国;(2)山东师范大学物理系，济南250014 ,中国 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(批准号: 69876025) |
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| 摘 要： | 利用射频磁控溅射法在有机薄膜衬底和7059玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的低电阻率的ZnO:Al透明导电膜，对在低温（25～210℃）下制备薄膜的结构和光电特性进行了比较研究. 铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜，具有六角纤锌矿结构，最佳取向为（002）方向.薄膜的最低电阻率分别为1.0×10-3和8.4×10-4Ω·cm,在可见光区的平均透过率分别达到了72%和85%.
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| 关 键 词： | ZnO:Al 透明导电膜 有机衬底 |
| 收稿时间： | 2001-03-21 |
| 修稿时间： | 2001年3月21日 |
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