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应变自组装InAs/GaAs量子点材料与器件光学性质研究
引用本文:
钱家骏,徐波,陈涌海,叶小玲,韩勤,王占国.应变自组装InAs/GaAs量子点材料与器件光学性质研究[J].半导体学报,2003,24(5):51-55.
作者姓名:
钱家骏
徐波
陈涌海
叶小玲
韩勤
王占国
作者单位:
[1]中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室,北京100083 [2]中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心,北京100083
摘 要:
采用MBE技术生长应变自组装InAs/GaAs量子点微结构材料,以这种纳米尺度微结构材料作有源层制备出激光二极管,研究了材料的光致发光和器件电致发光的特性,条宽为100μm、腔长为1.6mm,腔面未经镀膜的量子点激光二极管,室温下最大光功率输出为2.74W。
关 键 词:
应变自组装量子点
电致发光谱
InAs量子点结构
量子点激光器
MBE生长
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