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纳米GeSb2Te4薄膜在大气环境中的摩擦性能研究
引用本文:朱守星,丁建宁,范真,李长生,蔡兰,杨继昌.纳米GeSb2Te4薄膜在大气环境中的摩擦性能研究[J].摩擦学学报,2004,24(5):411-414.
作者姓名:朱守星  丁建宁  范真  李长生  蔡兰  杨继昌
作者单位:1. 江苏大学,微纳米技术研究中心,江苏,镇江,212013;东南大学,机械学院,上海,200051
2. 江苏大学,微纳米技术研究中心,江苏,镇江,212013
基金项目:国家自然科学基金资助项目(50275065),江苏大学微纳米中心开放基金资助项目(1291400001).
摘    要:采用摩擦力显微镜考察了磁控溅射纳米GeSb2Te4薄膜在大气环境中的微观摩擦性能,利用JKRS理论分析了针尖同GeSb2Te4薄膜接触时的粘附力和表面能之间的关系.结果表明:当湿度较大时,粘附力较大;而当湿度较小时,粘附力较小;当针尖表面能一定时,粘附力的微小变化可以导致GeSb2Te4薄膜的表面能产生较明显变化;随着扫描范围逐渐减小,摩擦力变化趋于稳定;不同扫描速度下法向力和摩擦力保持较好线性关系,但不同扫描速度下的平均摩擦力随扫描速率变化而呈现非线性变化;为了更好地分析探针和样品表面的微观摩擦机制,宜选择扫描范围为0.1~0.5μm或更小.

关 键 词:GeSb2Te4薄膜  摩擦力显微镜  摩擦性能  粘附力
文章编号:1004-0595(2005)05-0411-04
修稿时间:2003年10月27

Friction Behavior of Nanoscale GeSb2Te4 Thin Film in Atmosphere
ZHU Shou-xing.Friction Behavior of Nanoscale GeSb2Te4 Thin Film in Atmosphere[J].Tribology,2004,24(5):411-414.
Authors:ZHU Shou-xing
Institution:ZHU Shou-xing~
Abstract:
Keywords:GeSb_2Te_4 film  lateral force microscope  friction behavior  adhesion force
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