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一个非轴对称的光刻用光学系统

作者姓名：	王之江李元康江建忠

作者单位：	中国科学院上海光学精密机械研究所(王之江，李元康)，中国科学院上海光学精密机械研究所(江建忠)

摘要：	仅具一个对称面的光学系统一般难以校正象差。采用椭球焦点附近的成象特性和适当的球面校正系统,可以得出视场直径50～70mm,N.A.0.15～0.1,象质接近衍射极限的设计。
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