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提高玻璃封装二极管可靠性的研究
引用本文:韩文爵,王海风,罗春炼,田海兵.提高玻璃封装二极管可靠性的研究[J].半导体技术,2008,33(11).
作者姓名:韩文爵  王海风  罗春炼  田海兵
作者单位:东华大学,材料科学与工程学院,上海,200051;先进玻璃制造技术教育部工程研究中心,上海,200051;东华大学,材料科学与工程学院,上海,200051;先进玻璃制造技术教育部工程研究中心,上海,200051;东华大学,材料科学与工程学院,上海,200051;先进玻璃制造技术教育部工程研究中心,上海,200051;东华大学,材料科学与工程学院,上海,200051;先进玻璃制造技术教育部工程研究中心,上海,200051
基金项目:上海市重点学科建设项目
摘    要:利用超细ZrO2在ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃中的同素异构转变带来的体积效应来增加二极管封装玻璃的韧性和二极管的可靠性.在ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃中添加一定量的超细ZrO2粉粒,弥散均匀,用烧结法制得ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃,使用AKASHI压痕法,测试材料增韧前后的效果.使用XRD测试验证在玻璃封装二极管的工艺温度下能保持t-ZrO2和m-ZrO2晶型应具有的特征相.实验证明添加超细ZrO2后,ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃材料的韧性有很大的提高.经功率二极管玻璃封装工艺流程实验和二极管的理化性能考核,引人适当含量的超细ZrO2能提高玻璃封装二极管的抗热冲击性.

关 键 词:二极管  超细氧化锆  ZnO-B2O3-SiO2  微晶玻璃  增韧  可靠性

Study on the Reliability Increasing of Glass Diode
Han Wenjue,Wang Haifeng,Luo Chunlian,Tian Haibing.Study on the Reliability Increasing of Glass Diode[J].Semiconductor Technology,2008,33(11).
Authors:Han Wenjue  Wang Haifeng  Luo Chunlian  Tian Haibing
Institution:Han Wenjue1,2,Wang Haifeng1,Luo Chunlian1,Tian Haibing1,2 (1.College of Materials Science , Engineering,Donghua University,Shanghai 200051,China,2.Engineering Research Center of Advanced Glass Manufacturing Technology,Ministry of Education,China)
Abstract:Phrase changing of ZrO2 in ZnO-B2O3-SiO2 system glass-ceramics was used to increase the flexibility of the glass diode and improve the reliability as well.In the experiment superfine ZrO2 was mixed evenly with ZnO-B2O3-SiO2 system glass-ceramics powder and sintered at high temperature to get the new glassceramics.The flexibility of the glass-ceramics was studied by AKASHI pressing mark method.The typical phase of ZrO2 in glass diode was studied with XRD.The results show typical phases of t-ZrO2 and m-ZrO2 a...
Keywords:ZnO-B2O3-SiO2
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