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| 低温共烧陶瓷内埋式电感性能分析 | |
| 作者姓名： | 孙龙杰 刘婧 |
| 作者单位： | 1. 西安电子科技大学微电子研究所,陕西西安,710071;西安科技大学微电子研究所,陕西西安,710075 2. 西安科技大学微电子研究所,陕西西安,710075 |
| 摘 要： | 本文提出一种设计和评量低温共烧陶瓷电感性能的方法。低温共烧陶瓷技术已迅速成为许多射频领域的关键技术之一,文中采用低温共烧陶瓷工艺技术,设计出一组电感,同时从电感的不同结构入手,诸如:电感结构(共面设计、位移设计、多层设计)、线圈宽度、线圈间距(从0.2nH到11nH)、线圈圈数等分析了电感结构参数对电感性能的影响。 |
| 关 键 词： | 低温共烧陶瓷技术 仿真 电感圈数 品质因数 |
| 文章编号： | 1672-3791(2008)01(a)-0016-02 |
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