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氦气-空气混合环境中微型螺旋槽止推气浮轴承的承载特性分析
作者姓名:张传伟  葛泉江  解志杰  王黎钦  孙涛  马欣新  古乐
作者单位:                    
摘    要:针对氦气-空气混合气体环境,分析了不同氦气体积含量下混合气体的黏度和分子平均自由程,利用有限单元法求解雷诺方程二阶滑移修正模型,计算了微型螺旋槽气浮轴承的气压和气膜厚度,研究了氦气体积含量、螺旋槽深度和转速对气浮轴承承载能力的影响.分析结果表明:当螺旋槽深度由1μm增至10μm时,气浮轴承的气膜厚度先增加后减小,槽深为5μm时,气膜厚度最大,气浮轴承的承载能力最佳.此外,当槽深小于5μm时,混合气体的分子平均自由程对气膜厚度的影响较大;当槽深大于5μm时,混合气体黏度的影响起主导作用.

关 键 词:微型螺旋槽止推气浮轴承   氦气-空气混合气体   分子平均自由程   气体黏度   气膜厚度
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