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| 集成加热功能双模块湿敏电容衬底材料研究 | |
| 引用本文： | 金建东,郑丽,司良有,王明伟.集成加热功能双模块湿敏电容衬底材料研究[J].信息技术,2010(4):33-35. |
| 作者姓名： | 金建东 郑丽 司良有 王明伟 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所芯片与微系统工程中心,哈尔滨,150001 |
| 基金项目： | 国家863计划资助项目 |
| 摘 要： | 为实现在高空高湿环境下对湿度的准确测量,研制出一种集成加热功能的湿敏电容,理论分析、计算仿真及试验验证三方面针对这种加热功能湿敏电容的衬底材料进行研究. |
| 关 键 词： | 衬底材料 湿敏电容 加热功能 双模块 |
Study on substrate material of heater integrated polymer humidity capacitance sensor |
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