微波等离子体用于消除温室气体全氟化物的研究进展

根据文献报道,评述了1997-2009年以来微波等离子体用于消除温室气体全氟化物的研究进展。介绍了几类微波等离子体系统,包括放电管型微波等离子体、微波等离子体共振腔反应器、炬型微波等离子体等(引用文献31篇)。