阈值可调的微机电惯性开关

针对惯性开关通用性的要求,设计了一种具有阈值可调功能的微机电惯性开关。利用CoventorWare软件中的Architect模块对该悬臂梁结构开关进行系统级仿真。仿真结果表明,开关在半正弦加速度信号作用下,加速度阈值和电压基本呈线性关系,通过调整偏置电压的方式,可测量不同阈值加速度;以500g为一档,调节加速度阈值范围为1000⁴000g,开关最长响应时间为63.44μs,接触时间无穷大,表现出良好的工作性能。考虑MEMS薄膜沉积工艺在加工4μm厚的悬臂梁时存在±0.1μm加工误差,应用蒙特卡洛法分析悬臂梁厚度在3.94000g,开关最长响应时间为63.44μs,接触时间无穷大,表现出良好的工作性能。考虑MEMS薄膜沉积工艺在加工4μm厚的悬臂梁时存在±0.1μm加工误差,应用蒙特卡洛法分析悬臂梁厚度在3.9⁴.1μm之间变化时,对开关吸合电压和闭合时间的影响,结果表明,±0.1μm的加工误差对开关吸合电压和闭合时间影响在设计允许范围内。

MEMS inertial switch with threshold adjusting