| 石英衬底上生长的高光学质量的纳米金刚石薄膜 |
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| 引用本文： | 邱东江,石成儒,吴惠桢.石英衬底上生长的高光学质量的纳米金刚石薄膜[J].物理学报,2002,51(8):1870-1874. |
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| 作者姓名： | 邱东江 石成儒 吴惠桢 |
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| 作者单位： | (1)浙江大学物理系,杭州310028; (2)浙江大学中心实验室,杭州310028 |
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| 基金项目： | 浙江省自然科学基金 (批准号 :5 960 3 0 )资助的课题~~ |
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| 摘 要： | 采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积(RFHFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪观测薄膜的表面形貌和粗糙度,x射线衍射(XRD)和Raman光谱表征膜层的结构,并用紫外可见近红外光谱仪测量其光透过率.实验结果表明,衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性、表面粗糙度及光透过率均有很大程度的影响,其最佳值分别为700℃,2×133Pa和200W.在该最佳参量下经1h的生长即获得连续、平滑的纳米金刚石膜,其平均晶粒尺寸为约25
关键词：
纳米金刚石薄膜
射频等离子体增强热丝化学气相沉积
光透过率
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| 关 键 词： | 纳米金刚石薄膜 射频等离子体增强热丝化学气相沉积 光透过率 |
| 收稿时间： | 2001-01-11 |
| 修稿时间： | 2001年1月11日 |
Highly transparent nanocrystalline diamond films on quartz substrates |
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| Qiu Dong-Jiang,Shi Cheng-Ru and Wu Hui-Zhen.Highly transparent nanocrystalline diamond films on quartz substrates[J].Acta Physica Sinica,2002,51(8):1870-1874. |
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| Authors: | Qiu Dong-Jiang Shi Cheng-Ru and Wu Hui-Zhen |
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| Abstract: |
Keywords： |
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| Keywords: | nanocrystalline diamond film RF HFCVD optical transmission |
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