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| X 射线光电子能谱谱图解迭软件 | |
| 引用本文： | 余松华,张铭俊,熊国兴,盛世善.X 射线光电子能谱谱图解迭软件[J].分析化学,1988(10). |
| 作者姓名： | 余松华 张铭俊 熊国兴 盛世善 |
| 作者单位： | 中国科学院大连化学物理研究所，中国科学院大连化学物理研究所，中国科学院大连化学物理研究所，中国科学院大连化学物理研究所 |
| 摘 要： | 本文介绍了一个X射线光电子能谱谱图的解迭软件。该软件是为美国PHI公司X射线光电子能谱仪配置的,可以直接对能谱仪获取的实验谱图进行解迭,而且可以较容易地移植到其他系列的XPS能谱仪上。该软件是按最小二乘法的原理来进行拟合的,采用了高斯分布和劳伦兹分布的复合曲线作为拟合函数。它在PHI-550 ESCA/SAM电子能谱仪上处理各种XPS谱具有运算低、使用方便的优点,结果表明该软件可以成功地应用于XPS谱图的解析。 |
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