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12MeV电子辐照技术在半导体器件中的应用
引用本文:
杭德生.12MeV电子辐照技术在半导体器件中的应用[J].核物理动态,1995,12(2):67-68,40.
作者姓名:
杭德生
摘 要:
本文较全面地介绍了高能12MeV电子辐照技术的原理、方法、特点以及在快速二极管、开关晶体管,快速可控硅中成功的应用。
关 键 词:
高能电子
快速二极管
开关晶体管
电子辐照
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