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12MeV电子辐照技术在半导体器件中的应用
引用本文:杭德生.12MeV电子辐照技术在半导体器件中的应用[J].核物理动态,1995,12(2):67-68,40.
作者姓名:杭德生
摘    要:本文较全面地介绍了高能12MeV电子辐照技术的原理、方法、特点以及在快速二极管、开关晶体管,快速可控硅中成功的应用。

关 键 词:高能电子  快速二极管  开关晶体管  电子辐照
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