大功率VCSEL三角列阵的空间相干性 |
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引用本文: | 贾鹏,秦莉,张星,韩振伟,李秀山,陈泳屹,宁永强,王立军.大功率VCSEL三角列阵的空间相干性[J].发光学报,2015,36(6). |
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作者姓名: | 贾鹏 秦莉 张星 韩振伟 李秀山 陈泳屹 宁永强 王立军 |
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作者单位: | 1. 发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院大学,北京100049 2. 发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033 3. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033 |
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基金项目: | 国家自然科学基金重点项目,吉林省科技计划,长春市科技计划 |
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摘 要: | 由厄米-高斯光束理论和空间相干性定理出发,研究了大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)三角形列阵器件的光束质量和空间相干特性.采用二阶距法和空间相干度积分法得到980 nm波段VCSEL三角列阵器件的远场发散角和空间相干度,并讨论了列阵器件单元间距对其远场特性和空间相干特性的影响.实验结果表明:当三角列阵单元孔径为150 μm时,随着列阵单元间距由200 μm增大到300 μm,列阵器件的远场发散角由9.5°增加到12.5°,而其空间相干度由0.719减小到0.526.在相同注入电流条件下,3种列阵器件的出光功率基本相同.
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关 键 词: | VCSEL三角形列阵 光束质量 空间相干特性 |
Spatial Coherence of High Power VCSEL Triangular-array |
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Abstract: | |
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Keywords: | VCSEL triangle-arrays optical beam quality spatial coherence |
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