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Ar载气-氧化熔化-气相色谱法测定硅中微量碳
引用本文:何焕南,俞柏华,竺建英,马兰凤.Ar载气-氧化熔化-气相色谱法测定硅中微量碳[J].分析化学,1984(5).
作者姓名:何焕南  俞柏华  竺建英  马兰凤
作者单位:中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,上海市测试技术研究所
摘    要:硅中定碳的物理方法主要有活化法、质谱法和红外吸收法,活化法和质谱法的缺点是设备贵重、复杂。在硅单晶碳的日常分析中多用红外吸收法,其准确度取决于能否取得可靠的参考样品。在硅中定碳的化学方法中,由于空白值高和没有考虑样品的表面沾污,过去只适用于ppm级碳的测定而且结果往往偏高。我们根据惰性气体熔化法测定金属中气体的

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