Ar载气-氧化熔化-气相色谱法测定硅中微量碳 |
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引用本文: | 何焕南,俞柏华,竺建英,马兰凤.Ar载气-氧化熔化-气相色谱法测定硅中微量碳[J].分析化学,1984(5). |
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作者姓名: | 何焕南 俞柏华 竺建英 马兰凤 |
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作者单位: | 中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,上海市测试技术研究所 |
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摘 要: | 硅中定碳的物理方法主要有活化法、质谱法和红外吸收法,活化法和质谱法的缺点是设备贵重、复杂。在硅单晶碳的日常分析中多用红外吸收法,其准确度取决于能否取得可靠的参考样品。在硅中定碳的化学方法中,由于空白值高和没有考虑样品的表面沾污,过去只适用于ppm级碳的测定而且结果往往偏高。我们根据惰性气体熔化法测定金属中气体的
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