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| 半导体硅片生产形势的分析 | |
| 引用本文： | 梁骏吾,郑敏政,袁桐,闻瑞梅.半导体硅片生产形势的分析[J].中国集成电路,2003(44):34-37. |
| 作者姓名： | 梁骏吾 郑敏政 袁桐 闻瑞梅 |
| 作者单位： | [1]中国科学院半导体研究所中科院院土 [2]中国信息产业部 [3]同济大学 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 半导体 硅片生产 市场 中国 发展战略 外延硅片 集成电路 硅片 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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