| CO2激光切割PCR生物芯片储液池参数的研究 |
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| 引用本文： | 苏奇名,刘世炳,陈涛,鲍勇,武强.CO2激光切割PCR生物芯片储液池参数的研究[J].微细加工技术,2006(3):18-21. |
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| 作者姓名： | 苏奇名 刘世炳 陈涛 鲍勇 武强 |
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| 作者单位： | 北京工业大学,激光工程研究院,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 针对生物芯片中广泛应用的高聚物材料,利用其对波长为10.6 μm的CO2激光具有良好的吸收性这一特点,对生物芯片储液池进行加工.根据理论分析,提出影响切割表面粗糙度的主要因素在于激光功率P、切割速度Ve和离焦量L,并结合实验数据通过函数拟合得出经验公式,采用CO2激光加工的PCR生物芯片储液池,其切割面粗糙度可达0.05 μm,加工速度可达1 m/min,使生物芯片的批量生产和广泛应用向前迈出一大步.
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| 关 键 词： | 激光切割 激光功率 切割速度 离焦量 |
| 文章编号： | 1003-8213(2006)03-0018-04 |
| 修稿时间： | 2005年11月15 |
Research of the Parameters of CO2 Laser Cutting PCR Biochip Microchamber |
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| SU Qi-ming,LIU Shi-bing,CHEN Tao,BAO Yong,WU Qiang.Research of the Parameters of CO2 Laser Cutting PCR Biochip Microchamber[J].Microfabrication Technology,2006(3):18-21. |
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| Authors: | SU Qi-ming LIU Shi-bing CHEN Tao BAO Yong WU Qiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser cutting laser power cutting velocity focus shift |
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