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高温下纯铝的PⅢ
引用本文：莹明.高温下纯铝的PⅢ[J].等离子体应用技术快报,1998(6):5-6.
作者姓名：莹明
摘    要：
关 键 词：等离子体植入  纯铝  氮化铝涂层
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