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在rf等离子体中通过控制电子温度产生负氢离子

引用本文：	马兵.在rf等离子体中通过控制电子温度产生负氢离子[J].等离子体应用技术快报,1998(4):8-9.

作者姓名：	马兵

摘要：
关键词：	射频等离子体电子温度控制负氢离子
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