首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

利用过滤阴极弧技术沉积TiN薄膜
作者姓名：王惠三
摘    要：
关 键 词：FAD TiN薄膜 IAAD 薄膜沉积 过滤阴极弧
本文献已被 维普 等数据库收录！
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号