首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

等离子体增强化学气相沉积金刚石薄膜生长过程的分析
作者姓名：李平
摘    要：
关 键 词：金刚石 薄膜生长 MPECVD 等离子体
本文献已被 维普 等数据库收录！
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号