| 蓝光ZnO薄膜的特性研究 |
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| 引用本文： | 朋兴平,杨扬,耿伟刚,杨映虎,王印月. 蓝光ZnO薄膜的特性研究[J]. 发光学报, 2005, 26(4): 531-534,i0002 |
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| 作者姓名： | 朋兴平 杨扬 耿伟刚 杨映虎 王印月 |
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| 作者单位： | 兰州大学物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000;兰州大学物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000;兰州大学物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000;兰州大学物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000;兰州大学物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 采用反应溅射法在n型硅（100）衬底上制备了ZnO薄膜，分别用X射线衍射仪、原子力显微镜和荧光分光光度计对样品的结构、表面形貌和光致发光特性进行了表征。X射线衍射结果表明，实验中制备出了应变小的c轴择优取向的ZnO薄膜；原子力显微镜观察表明，薄膜表面平整，颗粒大小约为50nm，为柱状结构，颗粒垂直于硅衬底表面生长；在室温光致发光（PL）谱中观察到了波长位于434nm处的较窄的强蓝光发射峰，该蓝光峰的半峰全宽约为50meV。对蓝光峰的发光机制进行了讨论，并推断出该蓝光峰来源于电子从Zn填隙缺陷能级向价带顶跃迁。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 硅衬底 光致发光 射频反应溅射 |
| 文章编号： | 1000-7032（2005）04-0531-04 |
| 收稿时间： | 2004-08-25 |
| 修稿时间： | 2004-08-252004-12-06 |
Properties of Blue Luminescence ZnO Thin Film |
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| PENG Xing-ping,YANG Yang,GENG Wei-gang,YANG Ying-hu,WANG Yin-yue. Properties of Blue Luminescence ZnO Thin Film[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2005, 26(4): 531-534,i0002 |
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| Authors: | PENG Xing-ping YANG Yang GENG Wei-gang YANG Ying-hu WANG Yin-yue |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO films silicon substrate photoluminescence RF reactive sputtering |
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