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| 石英单基多谐振器力敏特性与加力方位的关系 | |
| 作者姓名： | 田文杰 宁永怀 崔媛媛 鄂然 张福学 |
| 作者单位： | 北京信息工程学院,传感器技术研究中心,北京,100101 北京信息工程学院,传感器技术研究中心,北京,100101 北京信息工程学院,传感器技术研究中心,北京,100101 北京信息工程学院,传感器技术研究中心,北京,100101 北京信息工程学院,传感器技术研究中心,北京,100101 |
| 摘 要： | 根据石英晶体振动理论及力敏特性,在同一圆形晶体基片上设计制作了多个石英晶体谐振器.采用对径加力的方式,研究了这种石英单基多谐振器的力敏特性与加力方位的关系,并与传统的单基单电极谐振器的力敏特性进行了比较.实验结果表明,同一晶体基片上不同位置的谐振器的力敏特性与加力方位密切相关;选择适当的加力方位,可使多电极结构的谐振器的力-频转换系数优于单电极谐振器的力-频转换系数. |
| 关 键 词： | 石英单基多谐振器 力敏特性 加力方位角 |
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