| 碳纳米管场发射压力传感器结构设计与测试 |
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| 引用本文： | 钱开友,王芸,叶枝灿,颜丙勇,徐东,蔡炳初.碳纳米管场发射压力传感器结构设计与测试[J].微细加工技术,2005(2):69-72. |
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| 作者姓名： | 钱开友 王芸 叶枝灿 颜丙勇 徐东 蔡炳初 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 上海市科技发展基金资助项目(0214nm031) |
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| 摘 要： | 研制出了碳纳米管场发射压力传感器。在结构设计中提出了场发射压力传感器台阶双层阳极变形膜结构，计算机模拟证明，这种结构具有大量程与高灵敏度的优点。同时对这种结构的形变特性进行了实验测试，为传感器结构的整体尺寸设计提供了依据。最后对这种新型传感器的性能进行了测试，表明传感器的灵敏度为0．22μA／kPa(5kPa-101kPa)。
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| 关 键 词： | 碳纳米管 场发射 压力传感器 阳极变形膜 计算机模拟 |
| 文章编号： | 1003-8213(2005)02-0069-04 |
| 修稿时间： | 2004年10月8日 |
Structure Design and Test of Carbon Nanotubes Field Emission Pressure Sensors |
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| QIAN Kai-you,WANG Yun,YE Zhi-can,YAN Bing-yong,XU Dong,CAI Bing-chu.Structure Design and Test of Carbon Nanotubes Field Emission Pressure Sensors[J].Microfabrication Technology,2005(2):69-72. |
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| Authors: | QIAN Kai-you WANG Yun YE Zhi-can YAN Bing-yong XU Dong CAI Bing-chu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | carbon nanotubes field emission pressure sensors anode sensing fil m computer si mulation |
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