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| 用类金刚石碳掩膜制备LaAlO3台阶衬底 | |
| 作者姓名： | 葛阳中 张新宇 |
| 作者单位： | 南京大学电子科学与工程系 |
| 摘 要： | 我们用脉冲激光淀积（ＰＬＤ）方法在ＬａＡｌＯ３（ＬＡＯ）衬底上生长了类金刚石碳（ＤＬＣ）膜，并以此作为掩模，制备了台阶衬底．ＳＥＭ分析表明，制备的台阶衬底具有陡直的台阶角度（大于７００）．我们用这样的台阶衬底制成了ＹＢＣＯ台阶结并测量了结的基本特性，结果表明，结有较好的高频特性． |
| 关 键 词： | YBCO 约瑟夫森器件 类金刚石碳膜 LAO 超导薄膜 |
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