基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜

针对片上光互连用光源对谐振腔单色性、可调性的要求,基于互补金属氧化物半导体技术和绝缘衬底上的硅材料,设计并制作了一种基于微环谐振腔的可调谐硅基反射腔镜。利用转移矩阵方法分析了该反射腔的性能,发现该反射腔具有较好的尖锐度和消光比。实验结果表明,该反射腔在波长1549nm处反射率可达90%,品质因素Q值为3×104,自由光谱范围(FSR)为9.6nm。通过对微环谐振腔进行热光调制,在0~40.5mW功率范围内实现了在FSR内的波长可调。