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| 用于输送半导体圆片的空气膜系统(下) | |
| 作者姓名： | J.A.佩瓦勒斯 J.K.哈桑 设备科设计组 |
| 摘 要： | 圆片运动控制技术 如前所述,为了实现图3所示的圆片运动功能,基本的薄膜表面是以不同的结构来构成的。在执行这些功能中,正如下面所描述的那样,气膜是与其他已经研制出了的控制技术一块起作用的。 位置检测和信号发生 这项技术利用轴—径效应的特殊状态,来检测圆片在空气膜上运动到一个给定的位置。圆片的出现表现为压力的突然 |
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