东芝确立MOCVD生产通信用LED——其成本仅为目前的1/5 |
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引用本文: | 何兴仁.东芝确立MOCVD生产通信用LED——其成本仅为目前的1/5[J].半导体光电,1985(2). |
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作者姓名: | 何兴仁 |
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摘 要: | MOCVD技术目前已开始用于半导体激光器制作,但在生长通信发光二极管(LED)中,所生长的薄膜,其品格质量极差,因而得不到足够的输出功率,所以一般均采用LPE工艺。但LPE技术生产效率低,工序复杂,造成器件价格昂贵。鉴于目前LED应用需求激增,迫切需要进一步降低LED价格。
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