氟原子参与的低压金刚石薄膜淀积条件

本文根据非平衡热力学耦合模型计算得到了碳氢氟体系低压金刚石生长的非平衡定态相图，与大量实验事实比较符合良好。通过相图讨论了系统压力，激活温度和氟含量对低压金刚石薄膜淀积条件的影响，可以为实验研究提供理论指导。