| 脉冲激光制膜过程中等离子体演化规律的研究 |
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| 作者姓名： | 张端明 关丽 李智华 钟志成 侯思普 杨凤霞 郑克玉 |
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| 作者单位： | (1)湖北襄樊学院物理系,襄樊 441053; (2)华中科技大学［主校区］物理系,武汉 430074;华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉 430074 |
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| 基金项目： | 华中科技大学激光技术国家重点实验室基金(批准号：9713D)、湖北省自然科学基金(批准号：2001ABB099)、湖北省教育厅重大科技项目基金(批准号：2000B5002)和国家自然科学基金(批准号：50272022)资助的课题. |
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| 摘 要： | 利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备KTa065Nb035O3(KTN)薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律,对等离子体在空间膨胀的物理机制,进行了深入的讨论,给出了相应演化过程的物理图像,并揭示了等离子体羽辉在膨胀过程中呈现椭球外形的内在原因.
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| 关 键 词： | 脉冲激光沉积 等离子体 有限差分 速度演化 KTN薄膜 |
| 收稿时间： | 2002-03-25 |
| 修稿时间： | 2002-03-25 |
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