皮米级分辨率测量及细分技术进程

综述了国内、外皮米分辨率测量的研究进展.介绍了高分辨率(皮米级)的测量方法和当前的发展,并对其原理及细分技术作了分析.针对典型测量方法的局限,阐述了另两种新颖的测量方法,并较深入地分析其优势及不足.着重分析了多次反射式光学干涉仪的测量方法,相对于X射线干涉仪,它具有更高的分辨率且其装置较简单,易于实现,在光谱学、高准确度测量等领域的应用前景较好.