集成电路设计及CAD技术 |
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引用本文: | 刘润生,董在望.集成电路设计及CAD技术[J].电气电子教学学报,1993(4). |
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作者姓名: | 刘润生 董在望 |
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作者单位: | 清华大学电子工程系
(刘润生),清华大学电子工程系(董在望) |
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摘 要: | 1.1 集成电路的发展60年代初开始,在一个硅片上集成2~4个基本门。60年代末,由于MOS工艺的发展,已可以作到1000个门/芯片。70年代末已制出64K动态存贮器DRAM,其集成度达到近1万门左右/芯片。80年代则进入了VLSI时代。80年代末,已经可以达到0.8μm工艺,其集成度已达到数百万个元件/芯片。90年代则进入亚微米时代,现已可作到0.5μm以下的工艺。其集成度已达到1百万
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