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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
利用表面等离激元成像检测化学气相沉积法生长石墨烯
作者姓名:
魏茹雪
王延伟
江丽雯
孙旭晴
刘虹遥
王畅
路鑫超
卢维尔
夏洋
黄成军
作者单位:
中国科学院微电子研究所健康电子研发中心,北京100029;中国科学院大学,北京100049;中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心,北京100029;北京交通大学,北京100044;中国科学院微电子研究所健康电子研发中心,北京,100029;中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心,北京100029;北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心,北京100029;集成电路测试技术北京市重点实验室,北京100088
基金项目:
国家重点研发计划;国家重点研发计划;国家自然科学基金;北京市自然科学基金;北京市自然科学基金;广东省科技计划;广州市科技计划;环境模拟与污染控制国家重点联合实验室专项
摘 要:
关 键 词:
表面光学
单晶石墨烯
表面等离激元成像
缺陷检测
快速无损检测
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