| 利用表面等离激元成像检测化学气相沉积法生长石墨烯 |
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| 引用本文： | 魏茹雪,王延伟,江丽雯,孙旭晴,刘虹遥,王畅,路鑫超,卢维尔,夏洋,黄成军.利用表面等离激元成像检测化学气相沉积法生长石墨烯[J].光学学报,2019,39(11):313-318. |
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| 作者姓名： | 魏茹雪 王延伟 江丽雯 孙旭晴 刘虹遥 王畅 路鑫超 卢维尔 夏洋 黄成军 |
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| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所健康电子研发中心,北京100029;中国科学院大学,北京100049;中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心,北京100029;北京交通大学,北京100044;中国科学院微电子研究所健康电子研发中心,北京,100029;中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心,北京100029;北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心,北京100029;集成电路测试技术北京市重点实验室,北京100088 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划;国家重点研发计划;国家自然科学基金;北京市自然科学基金;北京市自然科学基金;广东省科技计划;广州市科技计划;环境模拟与污染控制国家重点联合实验室专项 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 表面光学 单晶石墨烯 表面等离激元成像 缺陷检测 快速无损检测 |
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