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| 相衬光学显微镜中相衬板的研制 | |
| 引用本文： | 刘冬梅,曹洪玉,付秀华,张静,刘文成,濮继虎.相衬光学显微镜中相衬板的研制[J].光学学报,2019,39(11):380-387. |
| 作者姓名： | 刘冬梅 曹洪玉 付秀华 张静 刘文成 濮继虎 |
| 作者单位： | 长春理工大学光电工程学院,吉林长春,130022;丹阳丹耀光学有限公司,江苏丹阳,212325 |
| 基金项目： | 吉林省科技攻关计划重大专项 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 薄膜 相衬板 光刻工艺 相位 |
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