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| 基于差分进化算法的光刻机匹配方法 | |
| 作者姓名： | 茅言杰 李思坤 王向朝 韦亚一 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心,北京100029 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 光学设计 光学制造 光刻 光刻机匹配 光源优化 差分进化 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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