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单一蒸发源膜厚分布的均匀性

作者姓名：	付秀华赵迪卢成马国俊鲍刚华

作者单位：	长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022;成都国泰真空设备有限公司,四川成都611130

摘要：
关键词：	薄膜光学镀膜膜厚均匀性修正板
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