用共振电离光谱技术研究激光蒸发的动力学过程 |
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引用本文: | 胡企铨,吴砺,舒海珍,殷立峰,刘敏.用共振电离光谱技术研究激光蒸发的动力学过程[J].量子电子学报,1992(1). |
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作者姓名: | 胡企铨 吴砺 舒海珍 殷立峰 刘敏 |
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作者单位: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 201800
(胡企铨,吴砺,舒海珍,殷立峰),中国科学院上海光学精密机械研究所 201800(刘敏) |
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摘 要: | 激光蒸发产生粒子束的技术已经广泛地应用于激光光谱、质谱、激光化学和薄膜制备等领域。对激光蒸发动力学过程的研究不仅有其基本的物理意义也有其技术应用前景。人们为此作了大量的理论和实验研究。但是至今仍有许多问题不甚了了。为了更好的利用激光蒸发技术,尤其是在脉冲粒子束的产生和激光制备高温超导薄膜的研究中,有必要进一步了解激光蒸发的动力学过程。曾经使用过发射光谱、感生荧光技术、光学飞行时间谱
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