| 衬底温度对磁控溅射法制备的Ag/AZO绒面背反电极性能的影响 |
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| 引用本文： | 王春雷,王超,毛艳丽.衬底温度对磁控溅射法制备的Ag/AZO绒面背反电极性能的影响[J].光子学报,2014,42(7):812-816. |
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| 作者姓名： | 王春雷 王超 毛艳丽 |
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| 作者单位： | 河南大学 物理与电子学院 河南省光伏材料重点实验室, 河南 开封 475004 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(No.21103043);河南省省院科技合作项目(No.092106000033)和河南省教育厅自然科学研究项目(No.2011B480002)资助 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | Ag/AZO导电薄膜 磁控溅射 光电特性 雾度 |
| 收稿时间： | 2012-12-19 |
Effect of Substrate Temperature on the Properties of Textured Ag/AZO Back Electrodes Prepared by Magnetron Sputtering |
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| WANG Chun-lei,WANG Chao,MAO Yan-li.Effect of Substrate Temperature on the Properties of Textured Ag/AZO Back Electrodes Prepared by Magnetron Sputtering[J].Acta Photonica Sinica,2014,42(7):812-816. |
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| Authors: | WANG Chun-lei WANG Chao MAO Yan-li |
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| Institution: | Key Laboratory of Photovoltaic Materials of Henan Province, School of Physics & Electronics, Henan University, Kaifeng, Henan 475004, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ag/AZO conductive films Magnetron sputtering The photovoltaic properties Haze factor |
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