| 水氨或/和六甲基二硅氮烷表面处理碱催化二氧化硅增透膜结果的对比研究 |
| |
| 引用本文： | 霍艳芳,罗荣辉,苏永钢. 水氨或/和六甲基二硅氮烷表面处理碱催化二氧化硅增透膜结果的对比研究[J]. 光子学报, 2014, 42(7): 823-827. DOI: 10.3788/gzxb20134207.0823 |
| |
| 作者姓名： | 霍艳芳 罗荣辉 苏永钢 |
| |
| 作者单位： | 郑州大学 物理工程学院, 郑州 450001 |
| |
| 摘 要： |
|
| 关 键 词： | 薄膜光学 溶胶-凝胶法 二氧化硅增透膜 表面处理 水氨 六甲基二硅氮烷 |
| 收稿时间： | 2012-12-14 |
Comparison of Base-catalyzed Silica Antireflective Coatings Modified by Different Surface Treatments of Water-NH3 and/or Hexamethyldisilazane Vapors |
| |
| HUO Yan-fang,LUO Rong-hui,SU Yong-gang. Comparison of Base-catalyzed Silica Antireflective Coatings Modified by Different Surface Treatments of Water-NH3 and/or Hexamethyldisilazane Vapors[J]. Acta Photonica Sinica, 2014, 42(7): 823-827. DOI: 10.3788/gzxb20134207.0823 |
| |
| Authors: | HUO Yan-fang LUO Rong-hui SU Yong-gang |
| |
| Affiliation: | School of Physics and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Film optics Sol-gel method Silica antireflective coatings Surface treatments Water-NH3 hexamethyldisilazane |
|
| 点击此处可从《光子学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《光子学报》下载全文 |
