| 一种探针台自动定位方法的研究与实现 |
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| 引用本文： | 黄金兰,赵明宇,刘烽. 一种探针台自动定位方法的研究与实现[J]. 应用声学, 2016, 24(2): 261-263 |
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| 作者姓名： | 黄金兰 赵明宇 刘烽 |
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| 作者单位： | 秦皇岛视听机械研究所,秦皇岛视听机械研究所,秦皇岛视听机械研究所 |
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| 摘 要： | 探针台希望在上片后无需人工对准，就能从晶圆的第一个晶粒（第一点）开始检测，然而晶圆上片后，探针下方的开始位置往往并不是第一点。为了让第一点快速的移至探针下方，对平台的运行轨迹进行了研究，提出了螺旋定位法的概念，以平台上开始位置为中心，螺旋式步进运行，配合镜头的图像识别技术，一步一识别，逐步扩大范围，直至在镜头视野中找到晶圆中唯一的特殊晶粒（特殊点）。由于第一点与特殊点的位置相对固定，所以找到了特殊点即找到了第一点。此方法经过算法分析及整合编程后，进行了多次试验，并交付客户使用，第一点都能快速移至探针正下方且长时间运行稳定。此自动定位方法不仅节省了人力成本，提高了定位精度，又大大的提升了探针台的工作效率。
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| 关 键 词： | 探针台；晶圆；螺旋定位；第一点；特殊点 |
| 收稿时间： | 2015-08-27 |
| 修稿时间： | 2015-10-09 |
Research and Implementation of an Automatic Locating Method on Probe System |
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| Zhao Mingyu and Liu Feng. Research and Implementation of an Automatic Locating Method on Probe System[J]. Applied Acoustics(China), 2016, 24(2): 261-263 |
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| Authors: | Zhao Mingyu and Liu Feng |
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| Affiliation: | Qinhuangdao Audio-visual Machinery Research Institute,Qinhuangdao Audio-visual Machinery Research Institute,Qinhuangdao Audio-visual Machinery Research Institute |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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